Strain Effect in Semiconductors
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ISBN/EAN:
9781441905529
Strain Effect in Semiconductors: Theory and Device Applications presents the fundamentals and applications of strain in semiconductors and semiconductor devices that is relevant for strain-enhanced advanced CMOS technology and strain-based piezoresistive MEMS transducers. Discusses relevant applications of strain while also focusing on the fundamental physics pertaining to bulk, planar, and scaled nano-devices. Hence, this book is relevant for current strained Si logic technology as well as for understanding the physics and scaling for future strained nano-scale devices.
| Autor: | Yongke Sun, Scott E. Thompson, Toshikazu Nishida |
|---|---|
| EAN: | 9781441905529 |
| eBook Format: | |
| Sprache: | Englisch |
| Produktart: | eBook |
| Veröffentlichungsdatum: | 14.11.2009 |
| Untertitel: | Theory and Device Applications |
| Kategorie: | |
| Schlagworte: | CMOS technology Semiconductor Sensor fundamental physics logic devices microelectromechanical system (MEMS) optoelectronic devices strain-based MEMS strain effect strain physics |
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