Silizium-Halbleitertechnologie

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ISBN/EAN: 9783658423773

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.

Autor:	Hilleringmann, Ulrich
EAN:	9783658423773
Auflage:	008
Sprache:	Deutsch
Seitenzahl:	324
Produktart:	Kartoniert / Broschiert
Veröffentlichungsdatum:	27.10.2023
Untertitel:	Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Schlagworte:	Bauelement (elektronisch) - Baustein (elektronisch) Elektronik / Bauelemente Elektronik / Schaltung Halbleiter / Elektronik Ingenieurwissenschaft - Ingenieurwissenschaftler Maschinenbau Schaltung - Grundschaltung Silicium Silizium Standardschaltung Technologie

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